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老化柜是一種環(huán)境烤箱,用于評估多個半導(dǎo)體器件的可靠性并進(jìn)行大容量檢查,以檢查是否過早失效(嬰兒死亡率)。這些環(huán)境室設(shè)計(jì)用于集成電路(IC)和其他電子設(shè)備(例如激光二極管)的靜態(tài)和動態(tài)老化。
選擇腔室尺寸
腔室的大小取決于老化板的尺寸,每個老化板中的產(chǎn)品數(shù)量以及每天滿足生產(chǎn)要求所需的批次數(shù)量。如果內(nèi)部空間太小,則零件之間的空間不足會導(dǎo)致性能下降。如果太大,則會浪費(fèi)空間,時間和精力。
購買新的老化設(shè)置的公司應(yīng)與供應(yīng)商合作,以確保熱源具有足夠的穩(wěn)態(tài)和zui大容量以匹配DUT的負(fù)載。
當(dāng)使用強(qiáng)制循環(huán)氣流時,零件可從間隔中受益,但由于氣流沿整個側(cè)壁分布,因此烤箱可以在垂直方向更密集地裝載。零件應(yīng)與烤箱壁保持2-3英寸(5.1–7.6厘米)的距離。
老化柜設(shè)計(jì)規(guī)格
溫度范圍
根據(jù)被測設(shè)備(DUT)的要求,選擇具有動態(tài)范圍(例如,環(huán)境溫度高15°C至300°C(572°F))的腔室
溫度精度
溫度不要波動,這一點(diǎn)很重要。均勻度是指在指定設(shè)置下腔室內(nèi)zui高溫度與zui低溫度之間的zui大差異。在大多數(shù)半導(dǎo)體老化應(yīng)用中,均勻性和1.0°C控制精度的設(shè)定值至少應(yīng)為1%。
解析度
0.1°C的高溫分辨率將提供zui佳控制,以滿足老化要求
節(jié)約環(huán)境
考慮具有制冷劑的老化柜,該制冷劑的臭氧層消耗系數(shù)為零。帶有制冷功能的老化柜與在0攝氏度以下至–55°C的溫度下運(yùn)行的老化柜有關(guān)。
腔室配置
腔室可設(shè)計(jì)有卡籠,卡槽和檢修門,以簡化DUT板和驅(qū)動器板與ATE站的連接。
箱內(nèi)氣流
在大多數(shù)情況下,帶有循環(huán)氣流的強(qiáng)制對流烤箱將提供zui佳的熱量分配,并顯著加快將溫度和熱量傳遞到零件的速度。溫度均勻性和性能取決于將空氣引導(dǎo)到腔室所有區(qū)域的風(fēng)扇設(shè)計(jì)。
腔室可以設(shè)計(jì)成水平或垂直氣流。了解基于腔室氣流的DUT的插入方向非常重要。
自定義ATE接線
當(dāng)要測量數(shù)百種設(shè)備時,通過孔或測試孔插入導(dǎo)線可能不切實(shí)際。定制接線連接器可直接安裝到烤箱,以利于使用ATE對設(shè)備進(jìn)行電氣監(jiān)控。
老化烤箱如何控制溫度
老化烤箱使用執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)PID(比例,積分,微分)算法的溫度控制器。控制器感測實(shí)際溫度值與期望的設(shè)定值之間的關(guān)系,并向加熱器發(fā)出校正信號,以要求從無熱到全熱的任何場合應(yīng)用。風(fēng)扇也用于均衡通過腔室的溫度。
用于精確控制環(huán)境烤箱溫度的zui常見傳感器是電阻溫度檢測器(RTD),基于鉑的單元通常稱為PT100。
調(diào)整柜子大小
如果使用現(xiàn)有烤箱,則基于烤箱熱容量和損耗,熱源輸出和DUT質(zhì)量等因素的基本熱模型將使您驗(yàn)證烤箱和熱源是否足以達(dá)到所需溫度。熱時間常數(shù)短到足以在控制器的指示下產(chǎn)生緊密的環(huán)路響應(yīng)。
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